超純水器采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級紫外殺菌處理等方法，將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。

　　超純水器其原理都是自來水經過精密濾芯和活性炭濾芯進行預處理，過濾泥沙等顆粒物和吸附異味等，讓自來水變得更加干凈，然后再通過反滲透裝置進行水質純化脫鹽，純化水進入儲水箱儲存起來，其水質可以達到國家三級水標準，同時反滲透裝置產水的廢水(亦稱"濃水")排掉。反滲透純水通過純化柱進行深度脫鹽處理就得到一級水或者超純水，最后如果用戶有特殊要求，則在超純水后面加上紫外殺菌或者微濾、超濾等裝置，除去水中殘余的細菌、微粒、熱源等。

　　超純水器的使用壽命與水質、日常維護有著緊密的聯系。水質差、日常不注重清洗維護會加重縮短超純水器的使用期。在超純水器的水箱及RO膜表面極易產生菌膜，菌膜會使純水器的運轉出現問題，如造成濾膜阻塞、內壓升高、系統漏水、增壓泵損壞;菌膜也造成離子交換樹脂無法正常工作;菌膜還會阻塞RO膜;定期清洗水箱;及時更換耗材，不管用水量大小，凡是浸泡在水中的耗材都不可避免地形成菌膜，使用中要根據情況及時更換純水器的耗材，這樣才可避免菌膜的產生并使純水器達到最佳狀態，保持實驗結果在低污染背景下的高一致性。